Кафедра наноелектроніки та модифікації поверхні (до 2010 р. кафедра фізичної електроніки) була заснована у 1994 році. З 1995 року здійснює випуск інженерів-фізиків зі спеціальності "Фізична електроніка", з 1999 року зі спеціальності "Фізична та біомедична електроніка", а з 2016 року - зі спеціальності "Мікро- та наносистемна техніка".

      Завідувач кафедри Погребняк О.Д. є організатором та членом оргкомітету міжнародних конференцій: NAP (м. Алушта), ION (Польша), PSE (Німеччина), RIMT (Литва). Також кафедрі постійно виконуються держбюджетні теми під керівництвом професорів Воробйова Г.С., Погребняка О.Д., Перекрестова В.І. Серед запрошених професорів на кафедрі працюють такі відомі вчені, як J Musil (Department of Physics and NTIS-European Centre of Excellence, University of West Bohemia, Чехія) з індексом Гірша більше 48, V. Novosad (Argonne National Laboratory, США) з індексом Гірша – 42, V Sontea (Technical University, Молдова).

      Важливим досягненням є зростання індексу Гірша університету до 47, при цьому 24 статті з тих, що формують цей індекс, оприлюднені працівниками кафедри наноелектроніки та модифікації поверхні. Крім того, опубліковані монографії та розділи монографій у відомих європейських та світових видавництвах: Elsevier, Springer, Nova Science Publishers та ін.

      У складі кафедри працюють: “Науково-дослідницька лабораторія вакуумних нанотехнологій”;  “Науково-дослідницька лабораторія електронної мікроскопії”; “Науково-дослідницька лабораторія нових технологій в фізиці та техніці НВЧ”; “Комп’ютерна лабораторія”; “Науково-дослідницька лабораторія фізичних основ електронної техніки”, обладнання яких  використовується у навчальному процесі.

      Науковими напрямками кафедри можна вважати:

  • Нанесення нітридних, боридних та карбідоніридних покриттів високої твердості та термостійкості з використанням методу фізичного осадження пари (вакуумне осадження дугою, реактивне магнетронне напилення).
  • Отримання наносистем металів і напівпровідників у вигляді пористих структур, а також отримання зносостійких багатокомпонентних покриттів на зовнішній і внутрішній поверхнях труб.